Palabras clave
Magnetron sputtering
multilayer system
hard coatings pulverización catódica
sistema multicapas
recubrimientos duros
multilayer system
hard coatings pulverización catódica
sistema multicapas
recubrimientos duros
Cómo citar
Bejarano Gaitan, G., Caicedo A., J. C., Caicedo R., J. M., & Balogh S. Gottschalk, A. G. (2007). Incremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódica. Informador Técnico, 71, 6–11. https://doi.org/10.23850/22565035.774
Resumen
Multicapas de TiN/TiAIN fueron depositadas mediante la técnica d.c. magnetrón sputtering reactivo, a partir de blancos de titanio y aluminio de 10 cm de diámetro y de 99.9% de pureza en una atmósfera de argón-nitrógeno, a una temperatura del sustrato de 300°C y presión de 7x10-3 mbar. Como sustratos se utilizaron probetas de silicio con orientación (100) y de acero AISI M2. Inicialmente, se investigó la influencia del contenido de aluminio sobre la dureza de los recubrimientos de TiAlN y posteriormente se analizó el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos de TiN/TiAlN en función del número de multicapas. Para tales efectos se determinó la composición química de los recubrimientos mediante es pectroscopia EDX; la estructura cristalina por difracción de rayos X (XRD) y la morfología de crecimiento a través de microscopia electrónica de barrido (SEM). La dureza y la adherencia fueron determinadas por la técnica de la microindentación y de rayado respectivamente.
Citas
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