Como Citar
Bejarano Gaitan, G., Caicedo A., J. C., Caicedo R., J. M., & Balogh S. Gottschalk, A. G. (2007). Incremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódica. Informador Técnico, 71, 6–11. https://doi.org/10.23850/22565035.774
Resumo
Multicapas de TiN/TiAIN fueron depositadas mediante la técnica d.c. magnetrón sputtering reactivo, a partir de blancos de titanio y aluminio de 10 cm de diámetro y de 99.9% de pureza en una atmósfera de argón-nitrógeno, a una temperatura del sustrato de 300°C y presión de 7x10-3 mbar. Como sustratos se utilizaron probetas de silicio con orientación (100) y de acero AISI M2. Inicialmente, se investigó la influencia del contenido de aluminio sobre la dureza de los recubrimientos de TiAlN y posteriormente se analizó el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos de TiN/TiAlN en función del número de multicapas. Para tales efectos se determinó la composición química de los recubrimientos mediante es pectroscopia EDX; la estructura cristalina por difracción de rayos X (XRD) y la morfología de crecimiento a través de microscopia electrónica de barrido (SEM). La dureza y la adherencia fueron determinadas por la técnica de la microindentación y de rayado respectivamente.
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